物质通常有三种相反状态，即气态、液态和固态。它们根据定然的条件而彼此转化。液态转化成气态的内中称为挥发，固态转化成气态的内中称为升华。
在定然的热度下，在开启的真空空间中，因为液体(或液体)气化的后果，使空间的蒸气密度逐步增多，当达成定然的蒸气压力之后，单位工夫内脱离液体(或液体)名义的分子数与从空间回来液体(或液体)名义的再凝聚分子数相当，即挥发(或升华)速率与凝聚速率达成静态失调，那时可觉得气化停留，此时的蒸气压力称为该热度下该液体(或液体)的饱和蒸气压。
饱和蒸气压与热度之间有如次相近关系
式中P——饱和蒸气压
A、B——常数
T——相对热度
正常说来，在定然热度下饱和蒸气压高的资料，其挥发（或升华）速率也大。蒸气压和挥发（升华）速率之间有以次关系
式中W——挥发（升华）速率，g/cm2·s
P——热度T时的饱和蒸气压，Pa
M——分子量，g/克分子
无须留神的是，无须把资料的蒸气压力与放气压力区离开，资料的放气压力与资料对气体的解吸、放气或浸透无关。固然有时放气或热解吸造成的气体压力比资料固有的蒸气压力要高的多，然而经过在真空下烘烤可以升高它们对气体压力的莫须有，然而资料的蒸气压力却是资料自身所固有的、一成不变的。
在真空技能中，资料的蒸气压力和挥发(升华)速率都是须要注重的参数。如：真空油脂、真空规管的热真丝的饱和蒸气压均能变成莫须有极限真空度的气源；真空镀膜用粮和吸气剂的升华速率是设计真空镀膜设施及吸气剂泵时须要思忖的参量；高温风化气体的饱和蒸气压力则是与高温冷凝泵极限压力无关的参量。
显然，使不得采纳在真空零碎的作业热度规模内蒸气压力很高的资料。在作业热度的规模内，所有面对真空的资料的饱和蒸气压力无须剩余低，不应所以其自身的蒸气压或放气特点而使真空零碎达不到所务求的作业真空度(或使真空度适度升高)。只管室温下某些资料的蒸气压很低，乃至有时发觉不进去，但随着热度的升高，蒸气压力最终能够回升到测得进去的值。比如，某些难熔非金属须要升高到1500℃之上能力测出其蒸气压力值。然而某些非金属(例锌、镉、铅等)在300～500℃时的蒸气压力值就很高，胜于了高真空零碎所务求的压力。比如镉在300℃时的蒸气压力值为10Pa，因而该署非金属(或其合金)使不得在带烘烤的高真空零碎或超高真空零碎中运用。其它一些资料，如某些塑料或橡胶，因为其使不得加温烘烤及蒸气压过高，则基本使不得在超高真空条件下运用。
真空工事中罕用资料及荡涤用有机溶剂的蒸气压请查阅无关画册。